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- MEMS傳感器及微系統(tǒng)多功能組合應用是發(fā)展趨勢
- 來源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2013/7/19
目前，MEMS傳感器及微系統(tǒng)的應用主要分為低成本產(chǎn)品，如智能手機、平板設備等消費性應用，需要的溫度、壓力、濕度、陀螺和加速度傳感器等；低功耗的產(chǎn)品，如用于公共安全、環(huán)境監(jiān)測物聯(lián)網(wǎng)節(jié)點信息的溫度、壓力、濕度、氣體、風速和風向采集的MEMS傳感器等；高可靠產(chǎn)品，如用于汽車電子的MEMS傳感器等：高端的高價格產(chǎn)品，如用于各種工業(yè)、礦業(yè)、油田、航空航天等控制的MEMS傳感器等；特種需要的產(chǎn)品，如MEMS生物芯片產(chǎn)品，用于醫(yī)學檢查。從上面幾種傳感器應用需求可以看出，多功能的傳感器組合應用將替代單一功能MEMS器件。
物聯(lián)網(wǎng)市場需求，是MEMS技術的多學科交叉特點得到充分發(fā)揮的例子。要實現(xiàn)一個特定范圍內(nèi)特定參數(shù)監(jiān)測、數(shù)據(jù)分析和傳輸，不僅需要低功耗的MEMS傳感器進行信息采集，也需要能夠?qū)⑦@些信息進行轉(zhuǎn)換并傳輸出來的接口。在無人監(jiān)控區(qū)，傳感器節(jié)點要能夠持續(xù)工作，MEMS傳感器采集信號、集成的ASIC電路進行信號轉(zhuǎn)化和處理、RF-MEMS將信號發(fā)射出去、MEMS電池提供各節(jié)點單元工作的能源。
多功能復合傳感器和集成了信號處理與轉(zhuǎn)換電路的集成傳感器由于便于使用，所以市場情況最為明朗。MEMS技術可以實現(xiàn)集成傳感器，可以將輔助電路中的元件和傳感元件集成在一塊芯片上，因而具有校準、補償、自診斷以及網(wǎng)絡通信的功能。如將溫度、壓力、濕度、陀螺、加速度和磁強計作為一個多功能傳感器，采用兩片式封裝或是疊層封裝與模擬ASIC和數(shù)字ASIC組成一個集成傳感器。
在集成傳感器基礎上，可以實現(xiàn)智能化，智能化傳感器是微型計算機和傳感器相結(jié)合的成果。它兼有檢測、判斷與信息處理的功能。智能化傳感器與傳統(tǒng)傳感器相比，具有很多鮮明的特點，如自診斷和自校準功能，判斷和信息處理功能；可以對測量值進行修正、誤差補償，從而提高測量精度；還可以實現(xiàn)多傳感器多參數(shù)測量，測量的數(shù)據(jù)可存取，有數(shù)據(jù)通信接口，可以與微型計算機直接通信。
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