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- 淺析多功能集成化傳感器及其發(fā)展
- 來源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2013/6/6
近年來，多功能集成化傳感器研究受到國內(nèi)外的廣泛關(guān)注，國內(nèi)外文獻(xiàn)報道，已經(jīng)有用于環(huán)境監(jiān)測、化學(xué)分析、生物保護(hù)等方面的集成傳感器。隨MEMS技術(shù)和比技術(shù)的不斷發(fā)展，實現(xiàn)傳感器的集成化、多功能化成為可能。1995年，黑龍江大學(xué)溫殿忠教授提出JFET壓／磁電效應(yīng)基本理論，用標(biāo)準(zhǔn)的松弛方法研究了結(jié)型場效應(yīng)晶體管的磁電效應(yīng)。
隨著傳感器及微電子技術(shù)的發(fā)展，人們可以在同一材料上制作幾種敏感元器件，制成能夠檢測多個參量的集成化多功能傳感器。多功能傳感器主要有以下幾種不同的工作原理及結(jié)構(gòu)形式：幾種不同的敏感元器件制作在同一個硅片，制成集成化多功能傳感器，該種傳感器集成度高、體積小，各個敏感元器件的工作氛圍相同，容易實現(xiàn)補(bǔ)償和校正，這是多功能傳感器發(fā)展的一個方向。
幾種不問的敏感元器件組合在一起形成一個傳感器，可以同時測量幾個參數(shù)，各敏感元器件是獨立的，如將測量溫度和測量濕度敏感元件組合在一起．構(gòu)成溫濕度多功能傳感器；用同一個敏感元器件的不同效應(yīng)，得到不同的信息，如將線圈作為敏感元件，在具有不同磁導(dǎo)率或介電常數(shù)物質(zhì)的作用下，表現(xiàn)出不同的電容和電感。同一個敏感元件在不同激勵下表現(xiàn)出不同特性，例如傳感器施加不同的激勵電樂、電流，在不同溫度下，其特性不同，有時可相串于幾個不同的傳感器。有的多功能傳感器檢測出的幾個信息混在一起，需要用信號處理的方法將各種信息進(jìn)行分離。多功能集成化傳感器將隨著工業(yè)等自動化行業(yè)得到進(jìn)一步發(fā)展。
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