黄色在线免费观看,www.黄色视频,日批视频免费观看,国产一级婬片A片免费无成人黑豆

產品中心 應用方案 技術文摘質量保證產品選型 下載中心業(yè)內動態(tài) 選型幫助 品牌介紹 產品一覽 聯(lián)系我們

電話:010-84775646
當前位置:首頁 >> 業(yè)內動態(tài) >> 詳細內容
配備超高質量鉆石懸臂的MEMS傳感器芯片的開發(fā)
來源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2020/12/16

通過這項研究開發(fā)的金剛石MEMS芯片的顯微照片以及集成到芯片中的金剛石懸臂之一


由NIMS領導的研究小組成功開發(fā)了高質量的鉆石懸臂,該懸臂在室溫下達到了最高的質量(Q)值。該小組在開發(fā)單晶金剛石微機電系統(tǒng)(MEMS)傳感器芯片方面也取得了世界上的首次成功,該傳感器芯片可以通過電信號來驅動和感測。這些成就可能以比現(xiàn)有的硅MEMS更高的靈敏度和更高的可靠性普及金剛石MEMS的研究。


在MEMS傳感器中,微觀懸臂(僅固定在一端的投射光束)和電子電路集成在單個基板上。它們已用于氣體傳感器,質量分析儀和掃描顯微鏡探頭。為了在包括災難預防和醫(yī)學在內的更廣泛的領域中的實際應用,它們需要更高的靈敏度和可靠性。


金剛石的彈性常數(shù)和機械常數(shù)是所有材料中最高的,因此有望用于開發(fā)高度可靠和靈敏的MEMS傳感器。但是,由于金剛石的機械硬度,很難對其進行三維顯微加工。該研究小組開發(fā)了一種“智能切割”制造方法,該方法可以使用離子束對金剛石進行微處理,并于2010年成功制造了單晶金剛石懸臂梁。但是,由于以下原因,金剛石懸臂梁的質量因數(shù)與現(xiàn)有硅懸臂梁的質量因數(shù)相似:表面缺陷的存在。


該研究小組隨后開發(fā)了一種新技術,可以對鉆石表面進行原子級蝕刻。這種蝕刻技術使該團隊可以消除使用智能切割方法制造的單晶金剛石懸臂梁底表面的缺陷。所得懸臂的Q因子值(用于測量懸臂靈敏度的參數(shù))大于一百萬。躋身世界最高之列。然后,該小組提出了一種新穎的MEMS器件概念:懸臂,振動懸臂的電子電路和感測懸臂振動的電子電路的同時集成。最后,該小組開發(fā)了可通過電信號驅動的單晶金剛石MEMS芯片并首次成功演示了其操作。該芯片表現(xiàn)出非常高的性能和靈敏度,可以在低壓和高達600°C的溫度下工作。


這些結果可能會加速對金剛石MEMS芯片的實際應用至關重要的基礎技術的研究,并能開發(fā)出能夠區(qū)分質量差(如單個分子)的極其靈敏,高速,緊湊且可靠的傳感器。


     如果本文收錄的圖片文字侵犯了您的權益,請及時與我們聯(lián)系,我們將在24內核實刪除,謝謝!
  產品查找
應用方案

加速計聲波傳感器微熔式力傳感器Schaevitz RV工業(yè)稱重傳感器Shcaevitz LV板裝表貼式壓力傳感器板載式壓力傳感器微熔式不銹鋼隔離壓力變送汽車碰撞專用加速度計

精品推薦
首頁 | 企業(yè)簡介 | 聯(lián)系我們 | 常見問題 | 友情鏈接 | 網(wǎng)站導航 | copyright©2007-2010,sensorway.cn.All Rights Reserved.京ICP備07023885號
色综合99久久久无码国产精品 | 中文字幕无码日韩专区免费 | 黄色一及高清片各 | 在线观看中文字幕 | 国产91原创在线 | 高清乱码 毛片 | 亚洲精品午夜无码内射高潮白浆 | 国产人妻 9 9精品无码一区 | 日韩无码强奸乱伦第一页 | 精品一区二区免费视频 | 高清无码,免费观看 | 在线亚洲AV无码秘 蜜桃医院 | 五月丁香综合久久熟熟俱乐部 | 亚洲AV无码专区一级婬片毛片 | Kitty自慰二区 | 无码人妻一级毛片免费 | 久久婷婷综合国产 | 红桃影视成人A片免费观看 亚洲午夜成人精品无码蜜臀 | 国产又粗又猛又爽又黄无码的视频 | 免费在线观看黄色中文字幕日本 | 亚洲无码在线观看视频 | 无码中文字幕av毛片不卡一卡二 | 欧美成人高清视频在线观看 | 国产美女全裸网站视频 | 中文字幕乱码中文乱码51精品 | 亚洲第一影院在线观看 | 午夜精品一级A片免费按摩室 | 成人黄色在线免费观看无码 | 性视频日韩无码四区 | 美国三级强奸爆插乱伦av | 交1300合集欧美成人性 | 蜜桃AV丝袜一区二区三区 | 精品亚洲动漫AV | 体内射精一区二区三区在线视频 | 九九九久久高清无码 | 无码免费毛片一区二区三区 | 九九精品在线观看 | av片在线免费观看 | 中国美女黄色二级片网站 | 自拍偷拍欧美日韩 | 亚洲一区二区三区精品视频免费看 |