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- 溫度傳感器在高溫600度下如何工作的
- 來源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2013/11/26
溫度傳感器是一種常用的測量儀器，被廣泛的應(yīng)用在多個行業(yè)當(dāng)中。溫度傳感器的工作環(huán)境也是很廣泛的，可以在中、低、高溫等多個環(huán)境下工作。今天小編就來為大家介紹一下溫度傳感器在高溫600度的環(huán)境下如何工作，下面來具體看一下吧�！ �
田中教授指出，耐高溫傳感器實(shí)用化的關(guān)鍵在于傳感器自身的技術(shù)和從傳感器讀取信號的技術(shù)。這是因?yàn)�，即使能夠在高溫�?00～600℃）環(huán)境測量溫度和壓力，如果讀取數(shù)據(jù)的電路不能工作，也無法使用數(shù)據(jù)。一般來說，用SiC半導(dǎo)體制造耐高溫傳感器時，從數(shù)據(jù)讀取電路一方看到的傳感器電極電阻會升高。如果把讀取電路放在非高溫環(huán)境下，并利用很長的導(dǎo)線，那么導(dǎo)線的電阻便會影響傳感器信號，導(dǎo)致難以準(zhǔn)確測量�！ �
田中教授介紹了此次學(xué)會上發(fā)表的兩個方案。一個是利用機(jī)械式變頻器的方案，就是利用基于MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）加工技術(shù)制成的微小機(jī)械式開關(guān)來構(gòu)成變頻器電路。由于這樣的電路不依賴于半導(dǎo)體特性，因此在500℃下也能工作。這個方案是美國凱斯西儲大學(xué)（CaseWesternReserveUniversity）發(fā)表的。雖然這樣的電路也可以通過SiC晶體管來實(shí)現(xiàn)，但目前很難使用比硅晶圓（集成電路的基板）缺陷多的SiC晶圓低成本制造晶體管。
另一個方案是使用SiC二極管整流橋，把傳感器的電阻調(diào)低。雖然很難利用SiC晶圓低成本制造晶體管，但面向功率半導(dǎo)體的SiC二極管已經(jīng)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，在很多用途中都投入了實(shí)用。該方案提出，把基于二極管的電阻轉(zhuǎn)換電路設(shè)在傳感器附近，信號便可通過同軸電纜延長。該方案是日本東北大學(xué)發(fā)表的。另外，基于二極管整流橋的電阻轉(zhuǎn)換技術(shù)在40年前就已發(fā)表�！�
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