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- 電容式壓力傳感器的工作原
- 來源：賽斯維傳感器網 發(fā)表于 2013/10/15
科學技術的不斷發(fā)展，極大地豐富了壓力測量產品的種類，現(xiàn)在，壓力傳感器依據(jù)工作原理的不同，有電容式壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、金屬應變式壓力傳感器、霍爾式壓力傳感器、振筒式壓力傳感器等種類，而其中電容式、壓阻式和金屬應變式傳感器是最為多見的。
金屬應變式壓力傳感器是一種歷史較長的壓力傳感器，但由于它存在遲滯、蠕變及溫度性能差等缺點，其應用場合受到了很大的限制。
壓阻式傳感器是利用半導體壓阻效應制造的一種新型的傳感器，它具有制造方便，成本低廉等特點，但由于半導體材料對溫度極為敏感，所以其性能受溫度影響較大，產品的一致性較差。
電容式傳感器是應用最廣泛的一種壓力傳感器，其原理十分簡單。一個無限大平行平板電容器的電容值可表示為：
C= ε s/d(ε 為平行平板間介質的介電常數(shù)，d 為極板的間距， s 為極板的覆蓋面積)
改變其中某個參數(shù)，即可改變電容量。由于結構簡單，幾乎所有電容式壓力傳感器均采用改變間隙的方法來獲得可變電容。電容式傳感器的初始電容值較小，一般為幾十皮法，它極易受到導線電容和電路的分布電容的影響。
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