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- 壓力傳感器是如何制作的
- 來(lái)源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2013/7/5
談到壓力傳感器，相信大家都不陌生。那它又是如何制作的呢？你一定很感興趣吧，下面我們就一起來(lái)了解一下。一種耐高溫智能壓阻式內(nèi)燃機(jī)壓力檢測(cè)儀，其特征在于：由連接頭、散熱片、傳感器散熱片、耐高溫壓力傳感器、信號(hào)處理電路、外接導(dǎo)線和液晶顯示屏組成，從左至右依次為連接頭、散熱片、傳感器散熱片、耐高溫壓力傳感器、外接導(dǎo)線，各部分之間通過(guò)螺紋緊固連接，信號(hào)處理電路安裝在耐高溫壓力傳感器殼中，通過(guò)導(dǎo)線與傳感器芯片相連，液晶顯示屏與外接導(dǎo)線相連。本實(shí)用新型創(chuàng)新之處在于取消了機(jī)械表式檢測(cè)裝置，采用了耐高溫壓阻式壓力傳感器，配置了信號(hào)處理電路和8字符液晶顯示屏，使得讀數(shù)直觀便于操作、測(cè)試精度高和結(jié)果更加科學(xué)合理，同時(shí)具有了多種數(shù)據(jù)檢測(cè)記錄功能，從而研制了耐高溫智能壓阻式內(nèi)燃機(jī)壓力檢測(cè)儀。
在壓力傳感器的微細(xì)加工技術(shù)中要求在樣品背面的掩膜上光刻出壓力腔窗口的圖形而且與正面圖形嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn)。待別是在設(shè)計(jì)時(shí)必須將力敏電阻安排在膜內(nèi)；有時(shí)離開膜邊的距離僅為30P”。正反圖形錯(cuò)開時(shí)，力敏電阻條對(duì)壓力靈敏度響應(yīng)便不對(duì)稱，甚至有時(shí)有可能移到膜外，對(duì)壓力便無(wú)響應(yīng)。這種錯(cuò)位既可以有平移錯(cuò)動(dòng)，也可以有角度錯(cuò)開。一般要求對(duì)形誤差小于20。30”M.角度偏差約在30以內(nèi)。
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