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- 淺析高溫壓力傳感器
- 來源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2012/9/26
高溫壓力傳感器的工作原理風(fēng)壓傳感器的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標準信號。
壓力傳感器應(yīng)用雖然非常廣泛。但是傳統(tǒng)的壓力傳感器的器件主要是一些機械結(jié)構(gòu)型,其原理都是結(jié)合壓電效應(yīng),把彈性體的形變轉(zhuǎn)換成對應(yīng)壓力的大小。
高溫壓力傳感器是工業(yè)實踐中最為常用的一種壓力變送器，其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道送風(fēng)、鍋爐，熔爐等眾多行業(yè)。
現(xiàn)在,研究比較多的高溫壓力傳感器主要是一些半導(dǎo)體傳感器,還有濺射合金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等。相比于傳統(tǒng)的壓阻式壓力傳感器相比，半導(dǎo)體電容式壓力傳感器具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、功耗小等優(yōu)點,而且它有個很大的好處是只對壓力敏感,對應(yīng)力不敏感,所以,電容式壓力傳感器在許多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。主要參考的參數(shù)：
1.測量范圍：在允許誤差限內(nèi)被測量值的范圍。
2.量程：測量范圍上限值和下限值的代數(shù)差。
3.精確度：被測量的測量結(jié)果與真值間的一致程度。
4.重復(fù)性：在所有下述條件下，對同一被測的量進行多次連續(xù)測量所得結(jié)果之間的符合程度：
5.分辨力：傳感器在規(guī)定測量范圍圓可能檢測出的被測量的最小變化量。
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