產(chǎn)品中心 應(yīng)用方案 技術(shù)文摘質(zhì)量保證產(chǎn)品選型 下載中心業(yè)內(nèi)動(dòng)態(tài) 選型幫助 品牌介紹 產(chǎn)品一覽 聯(lián)系我們
- 分析壓力傳感器受力的優(yōu)點(diǎn)
- 來(lái)源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2012/6/25
對(duì)壓力傳感器來(lái)說(shuō)，一般由硅片用研磨法或腐蝕制成硅杯。硅杯底構(gòu)成彈性膜。膜面上用集成電路工藝制備出力敏電阻器�？梢�(jiàn)彈性膜與硅杯本身也要發(fā)生彈性形變。倒置的硅杯邊緣卻用某種封裝技術(shù)固接在玻璃或陶瓷底座上。于是二維有限元應(yīng)力計(jì)算中把壓力傳感器中的承壓膜看成周邊是固接的，便于實(shí)際情況有所差別。因此需要分析整個(gè)壓力傳感器硅杯的受力和形變情況。這就要用三維有限元法。
有限元方法中無(wú)論二維還是三維分析，都要把壓力傳感器的硅杯劃分成有限個(gè)數(shù)的單元，稱為網(wǎng)絡(luò)離散化。因?yàn)槊恳粋�(gè)結(jié)點(diǎn)都有3個(gè)自由度，因此由n個(gè)結(jié)點(diǎn)組成的單元，其形變白由度為3n個(gè)。二維三角形一單元包含3個(gè)結(jié)點(diǎn)，有9個(gè)自由度。矩陣單元包含4個(gè)結(jié)點(diǎn)，有12個(gè)自由度。也可以用單元結(jié)點(diǎn)的撓度及轉(zhuǎn)角來(lái)描述單元結(jié)點(diǎn)的位移向量。從自由度角度來(lái)看，兩種表示方法并無(wú)實(shí)質(zhì)區(qū)別�？梢�(jiàn)壓力傳感器的硅杯單元中結(jié)點(diǎn)數(shù)越多，總自由度越多，單元位移向量的分量越多。當(dāng)然計(jì)算越加復(fù)雜。
三維有限元法中一般選擇四面體立體單元，6個(gè)體積相等的四面體單元構(gòu)成一個(gè)立方體。這樣不僅給壓力傳感器的硅杯網(wǎng)格劃分帶來(lái)方便，而且單元的自由度最少，體積又相等，給計(jì)算帶來(lái)許多方便。于是把連續(xù)的壓力傳感器彈性體離散成有限個(gè)數(shù)的四面體組合體。將壓力傳感器的硅杯進(jìn)行網(wǎng)格化，每一六面體網(wǎng)格中又可包括若干個(gè)四面體單元。
轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明來(lái)源：賽斯維傳感器網(wǎng)（yyjsjy.net）
- 如果本文收錄的圖片文字侵犯了您的權(quán)益，請(qǐng)及時(shí)與我們聯(lián)系，我們將在24內(nèi)核實(shí)刪除，謝謝！
