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- MEMS技術(shù)在加速度傳感器中的應(yīng)用
- 來源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2012/6/13
MEMS加速度傳感器廣泛應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)備、工業(yè)設(shè)備、消費(fèi)電子產(chǎn)品和汽車電子等領(lǐng)域,主要用來測量終端產(chǎn)品的加速度和減速度。
終端產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)模式加速(包括平移運(yùn)動(dòng)，如位置和方向的改變)、震動(dòng)、沖擊、傾斜和旋轉(zhuǎn)。除了旋轉(zhuǎn)之外，其它四種運(yùn)動(dòng)實(shí)事上都是加速度在不同時(shí)間段的表現(xiàn)。震動(dòng)可被認(rèn)為是迅速且周期性發(fā)生的加速和減速運(yùn)動(dòng)。類似的，沖擊則是瞬間發(fā)生的加速，但是不同于震動(dòng)，沖擊是一種非周期性運(yùn)動(dòng)，一般只發(fā)生一次。與震動(dòng)和沖擊相比，傾斜運(yùn)動(dòng)的發(fā)生往往相當(dāng)緩慢。
由于前四種模式的運(yùn)動(dòng)感測各自都與加速度有某種關(guān)系，它們可通過“g力”(地球引力)來測量，g是萬有引力對(duì)地球上物體產(chǎn)生的單位力。MEMS加速度傳感器通過測量重力對(duì)加速度傳感器軸的作用力來檢測傾斜度。以3軸加速度傳感器為例，三個(gè)不同的輸出分別測量運(yùn)動(dòng)的X、Y和Z軸加速度。
時(shí)下占市場最大份額的加速度傳感器使用差分電容測量g力，接著g力被轉(zhuǎn)換成電壓或數(shù)據(jù)位，最后被傳遞到微處理器上以便執(zhí)行某種行為。近來在技術(shù)上取得的進(jìn)步，使業(yè)界能制造出低g和高g感測范圍的微型MEMS加速度傳感器，且比以往產(chǎn)品的帶寬更高，從而大大增加了潛在應(yīng)用領(lǐng)域。低g感測范圍是指低于20g，這可以涉及到人類能產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)。高g則用于感測與機(jī)器或交通工具有關(guān)的運(yùn)動(dòng)—也就是人類沒法產(chǎn)生的運(yùn)動(dòng)。
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