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- 壓力傳感器工作原理及特點(diǎn)
- 來源：賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2010/4/7
壓力傳感器工作原理及特點(diǎn)
壓力傳感器工作原理及特點(diǎn)
壓阻式壓力傳感器采用集成電路工藝技術(shù)，在硅片上制造出四個(gè)等值的薄膜電阻并組成電橋電路，當(dāng)不受力作用時(shí)，電橋處于平衡狀態(tài)，無電壓輸出;當(dāng)受到壓力作用時(shí)，電橋失去平衡而輸出電壓，且輸出的電壓與壓力成比例。
壓阻式壓力傳感器具有以下特點(diǎn):
①壓阻式壓力傳感器的靈敏系數(shù)比金屬應(yīng)變式壓力傳感器的靈敏度系數(shù)要大50-100倍。有的時(shí)候壓阻式壓力傳感器的輸出不需要放大器就可直接進(jìn)行測(cè)量。
②由于它采用集成電路工藝加工，因而結(jié)構(gòu)尺寸小，重量輕。
③壓力分辨率高，它可以檢測(cè)出像血壓那么小的微壓。
④頻率響應(yīng)好，它可以測(cè)量幾十千赫的脈動(dòng)壓力。
⑤由于傳感器的力敏元件及檢測(cè)元件制在同一塊硅片上，所以它工作可靠，綜合精度 高，且使用壽命長(zhǎng)。
⑥由于采用半導(dǎo)體材料硅制作，傳感器對(duì)溫度比較敏感，如不采用溫度補(bǔ)償，其溫度誤差較大。
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