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- 深圳先進院在壓力傳感器領(lǐng)域獲新進展
- 來源：互聯(lián)網(wǎng) 發(fā)表于 2020/5/14
近日，中國科學院深圳先進技術(shù)研究院集成所光子信息與能源材料研究中心在壓力傳感器領(lǐng)域取得新進展，相關(guān)成果以Touchpoint-tailored ultra-sensitive piezoresistive pressure sensors with a broad dynamic response range and low detection limit 為題發(fā)表于材料領(lǐng)域期刊ACS Applied materials & interfaces（美國化學學會《應(yīng)用界面材料》）。論文第一作者是深圳先進院副研究員陳明，通訊作者是副研究員李文杰、鐘國華和研究員楊春雷。
柔性可穿戴壓力傳感器在電子皮膚、醫(yī)療監(jiān)測、智能機器人等方面應(yīng)用廣泛。完美的可穿戴壓力傳感器應(yīng)該具備高靈敏度、量程范圍大、低檢測極限的傳感系統(tǒng)。然而目前傳統(tǒng)的壓力傳感器無法同時滿足這些要求。對此，楊春雷課題組通過接觸點調(diào)制技術(shù)，利用柔性聚酰亞胺薄膜/粗糙叉狀電極/聚二甲基硅氧烷薄膜微結(jié)構(gòu)制備了高性能的柔性可穿戴壓力傳感器，該傳感器靈敏度在0-2.5 kPa范圍可達259.32 kPa-1，最大測量范圍達到54 kPa，響應(yīng)時間約200 μs。在健康監(jiān)控方面，該壓力傳感器可實現(xiàn)對人體脈搏的監(jiān)測；在智能機器人方面，課題組制備的壓力傳感器/機器人系統(tǒng)可以感知外界輕微的壓力并做出迅速的動作反射。該成果為高性能壓力傳感器的制備提供了一種有效的技術(shù)方案，并且有望促進壓力傳感器在生物醫(yī)學、健康監(jiān)測和人工智能等方向的實際應(yīng)用。
該研究目前得到國家自然科學基金委以及深圳市基礎(chǔ)研究項目等的資助支持。
圖1. 微結(jié)構(gòu)壓力傳感器傳感特性：（a-b）制備的壓力傳感器具備良好的機械柔韌性 (c-d)不同微結(jié)構(gòu)的壓力傳感器傳感特性，其中“粗糙-粗糙”型傳感器具備超高的靈敏度及最寬的動態(tài)范圍（e）“粗糙-粗糙”型壓力傳感器具備良好的穩(wěn)定性（f）“粗糙-粗糙”型壓力傳感器的響應(yīng)和恢復(fù)時間
圖2. “粗糙-粗糙”型傳感器應(yīng)用：（a-b）傳感器用于檢測微弱壓力（米粒），檢測極限可以達到0.36 Pa (c-d) 傳感器用于健康監(jiān)控：實時監(jiān)測人體脈搏（e-f）傳感器用于智能機器人：實時監(jiān)測懸掛乒乓球的輕微擺動
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